茂立电子突破！！！！微纳米气泡清洗装备成功出海，，解锁高端器件清洗新路径

近日，，，公司传来重磅喜讯——首次将微纳米气泡水清洗工艺应用于半导体/先进封装清洗装备，
，
，
，且该装备已成功出货至海外
，，，为全球高端器件精细化清洗交付全新解决方案，，
，
，彰显中国半导体装备企业的技术硬实力。。

随着先进封装技术迭代，
，半导体器件结构愈发精密，，，，传统清洗工艺已难以适配高端需求。。。公司深耕创新
，，将微纳米气泡水技术与清洗装备深度融合，，打造出兼具高效、、、环保与精准优势的产品，，实现高端装备出海突破。
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装备核心优势可拆解为两大维度，，，精准适配高端需求
：

一、
、高效环保清洗

以微纳米气泡水为核心介质
，
，
，，无需化学试剂，
，，绿色环保；依托其表面电荷、、、低表面张力特性，，，，可精准去除带电微粒、、、、深入微细结构清洁，，，搭配特定气源产生的羟基自由基，，能高效清除有机污染，，，同时避免线路图形坍塌。
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二、、、高精度清洗能力

可适配TSV、
、、微细电极等精密工艺
，，实现AR=10:1高纵横比TSV产品清洗与刻蚀；能去除28nm级微小颗粒及金属杂质，，，
，50-100nm颗粒去除率超99%，，，支持双面掩膜同时清洗
，，提升效率与一致性。
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未来，，，，茂立电子将继续秉持“技术引领、、、
、品质卓越”的理念，，，深耕半导体先进清洗领域，，，持续迭代机能水清洗技术，，以更具创新性、、、高效性
、、、环保性的解决方案，，，，赋能全球半导体产业升级，，，，打破高端清洗技术壁垒，
，，
，推动半导体清洗领域向绿色化、、、精细化方向发展，
，，，为全球半导体产业高质量发展贡献更多“捷佳”力量。。